분석평가 연구실
분석 평가 연구실
GDOES
· 박막 및 벌크의 depth profiling을 통한 정성/정량분석 장비
· 샘플 크기: < 20 × 20 mm2
Nano Indenter
· 박막의 hardness, modulus 등의 각종 물리적 특성 측정 장비
· 샘플 크기: < 30 × 30 mm2
AFM
· Contact mode의 표면조도 측정 장비
· 샘플 크기: ~ 10 × 10 mm2
FTIR
· 진공상태에서 적외선을 이용한 유/무기 재료의 표면 정성 분석 장비
· 샘플 크기: > 10 × 10 mm2
Image Analyzer
· 광학현미경 이미지 및 각종 이미지 파일에 대한 비율, 면적, 분포 등의 정보 분석 장비
SEM & EDS
· 전자 빔을 이용한 고배율 현미경과 2차전자 분석을 통한 박막의 화학적 조성 분석 장비
· 샘플 크기: < 30 × 30 mm2
Wetting Angle Analysis
· 용매의 접촉각 분석을 통한 박막 표면에너지 측정 장비
· 샘플 크기: > 10 × 10 mm2
4 Point Probe
· 박막의 저항 및 비저항 측정 장비
· 샘플 크기: > 15 × 15 mm2
Hall Measurement
· 박막의 비저항 및 이동도 측정장비
· 샘플 크기: 10 × 10 mm2
Stress Tester
· 박막의 스트레스 측정장비
· 샘플 크기: 스트레스 측정용 웨이퍼 (5 × 70 mm2)
Alpha Step Surface Profiler
· 박막의 두께 측정장비
· 표면의 미세조도 측정장비
Peel Tester
· 박막의 접착력 측정장비
· 샘플 크기: 10 × 40 mm2
· 박막 두께: > 10 μm
Scratch Tester
· 코팅된 박막의 기계적 특성 분석장비 (접착력, 갈라짐, 변형)
· 샘플 크기: 20 × 20 mm2
Phase Contrast Microscope
· 무색 투명한 시료라도 내부의 구조를 뚜렷하게 관찰할 수 있도록한 현미경.
Solar Simulator
· 인공태양 조사장치
· 샘플 크기: 2x2, 4x4, 6x6 and 8x8 인치
UV-Visible Spectrometer
· 자외선, 가시광선, 근적외선 영역에서 빛을 쏘아 줌으로서 물질에 대한 빛의 투과와 흡수 정도를 측정 할 수 있는 분석 장비
· 샘플 크기: 25 × 75 mm2
V-I Probe
· Plasma의 진단은 공정 쳄버 내에 직접 측정 장비를 삽입하는 침투식 측정 장비인 Langmuir probe와 달리 챔버 외부에서 간접적으로 측정하는 비침투식 측정 장비
광도계 (Spectrophotometer)
· 색차 측정(시료의 흡광도를 측정, 스펙트럼의 가시부, 자외부 도는 적외부에서 정량분석)
열물성 분석기 (TMA)
· 고온 열물성 분석 (온도, 시간의 함수로 시편의 치수 변화를 측정)
원심분리기 (Centrifuge)
· 세포계 시험 (세포 시험 시, 세포와 배양액의 분리에 사용)


GDOES
· 박막 및 벌크의 depth profiling을 통한 정성/정량분석 장비
· 샘플 크기: < 20 × 20 mm2


Nano Indenter
· 박막의 hardness, modulus 등의 각종 물리적 특성 측정 장비
· 샘플 크기: < 30 × 30 mm2


AFM
· Contact mode의 표면조도 측정 장비
· 샘플 크기: ~ 10 × 10 mm2


FTIR
· 진공상태에서 적외선을 이용한 유/무기 재료의 표면 정성 분석 장비
· 샘플 크기: > 10 × 10 mm2


Image Analyzer
· 광학현미경 이미지 및 각종 이미지 파일에 대한 비율, 면적, 분포 등의 정보 분석 장비


SEM & EDS
· 전자 빔을 이용한 고배율 현미경과 2차전자 분석을 통한 박막의 화학적 조성 분석 장비
· 샘플 크기: < 30 × 30 mm2


Wetting Angle Analysis
· 용매의 접촉각 분석을 통한 박막 표면에너지 측정 장비
· 샘플 크기: > 10 × 10 mm2


4 Point Probe
· 박막의 저항 및 비저항 측정 장비
· 샘플 크기: > 15 × 15 mm2


Hall Measurement
· 박막의 비저항 및 이동도 측정장비
· 샘플 크기: 10 × 10 mm2


Stress Tester
· 박막의 스트레스 측정장비
· 샘플 크기: 스트레스 측정용 웨이퍼 (5 × 70 mm2)


Alpha Step Surface Profiler
· 박막의 두께 측정장비
· 표면의 미세조도 측정장비


Peel Tester
· 박막의 접착력 측정장비
· 샘플 크기: 10 × 40 mm2
· 박막 두께: > 10 μm


Scratch Tester
· 코팅된 박막의 기계적 특성 분석장비 (접착력, 갈라짐, 변형)
· 샘플 크기: 20 × 20 mm2


Phase Contrast Microscope
· 무색 투명한 시료라도 내부의 구조를 뚜렷하게 관찰할 수 있도록한 현미경


Solar Simulator
· 인공태양 조사장치
· 샘플 크기: 2x2, 4x4, 6x6 and 8x8 인치


UV-Visible Spectrometer
· 자외선, 가시광선, 근적외선 영역에서 빛을 쏘아 줌으로서 물질에 대한 빛의 투과와 흡수 정도를 측정 할 수 있는 분석 장비
· 샘플 크기: 25 × 75 mm2


V-I Probe
· Plasma의 진단은 공정 쳄버 내에 직접 측정 장비를 삽입하는 침투식 측정 장비인
Langmuir probe와 달리 챔버 외부에서 간접적으로 측정하는 비침투식 측정 장비


광도계 (Spectrophotometer)
· 색차 측정(시료의 흡광도를 측정, 스펙트럼의 가시부, 자외부 도는 적외부에서 정량분석)


열물성 분석기 (TMA)
· 고온 열물성 분석 (온도, 시간의 함수로 시편의 치수 변화를 측정)


원심분리기 (Centrifuge)
· 세포계 시험 (세포 시험 시, 세포와 배양액의 분리에 사용)