플라즈마진단연구실
플라즈마 진단 연구실
Spatially Resolved OES
· 플라즈마 공정 중 실시간 라디칼, 이온, 입자 분포 등 분석
Laser Induced Fluorescence
· 외부 에너지 인가를 통한 플라즈마 내 종(species)들의 밀도, 속도 분포, 온도 분포를 측정
Langmuir Probe
· 플라즈마 내의 전자온도, 이온온도, 포텐셜 등의 각종 정보 분석 장비
Mass Spectroscopy (QMS)
· 플라즈마 내 중성종들의 정성분석
IR Camera
· 플라즈마 공정 중 타겟 표면온도, 박막 표면온도 및 분포 측정


Spatially Resolved OES
· 플라즈마 공정 중 실시간 라디칼, 이온, 입자 분포 등 분석


Laser Induced Fluorescence
· 외부 에너지 인가를 통한 플라즈마 내 종(species)들의 밀도, 속도 분포, 온도 분포를 측정


Langmuir Probe
· 플라즈마 내의 전자온도, 이온온도, 포텐셜 등의 각종 정보 분석 장비


Mass Spectroscopy (QMS)
· 플라즈마 내 중성종들의 정성분석


IR Camera
· 플라즈마 공정 중 타겟 표면온도, 박막 표면온도 및 분포 측정