에너지하베스팅 박막
에너지하베스팅 박막
1) 박막솔라셀
- 박막소재 : 결정질 Si 박막, Si:Ge 박막
- 박막특성 : 결정화율 30 ~ 75 %, 나노결정, 결정결함 < 1 x 1016 #/cm3
- 기판소재 : Glass, 폴리머 (PI 등), 스테인레스 강판
- 코팅공정 : RF, VHF 및 UHF hybrid를 이용한 초고밀도 플라즈마 PECVD
- 코팅온도 : 100 ~ 300 ℃
- 핵심기술 : 1.0 ~ 2.0 nm/sec 의 초고속 저결함 결정질 Si 박막합성 기술

2) 연료전지용 전극소재
- 박막소재 : 전도성 탄소박막
- 박막특성 : 나노결정(10 nm) graphite 조직, 전도성 1 x 10-3 ohmcm
- 기판소재 : Glass, 폴리머, 스테인레스 강판
- 코팅공정 : 고밀도 플라즈마 마그네트론 스퍼터링
- 코팅온도 : 50 ~ 100 ℃
- 핵심기술 : 저온에서 플라즈마 밀도 및 전자온도 제어에 의한 나노결정 전도성 graphite 합성기술

공정 조건별 결정화도
□ UHF-RFPECVD
gallery thumbnail gallery thumbnail gallery thumbnail


□ Sputtering
gallery thumbnail gallery thumbnail gallery thumbnail