플렉서블 전자용 박막
플렉서블 전자용 박막
1) 배리어 박막
- 박막소재 : SiOx / SiOxNy 박막, 단층 및 적층 박막
- 박막특성 : 투습도 TFT-LCD 1×10-2, OLED 1×10-6 g/cm2/day , 투과도 >85% , 두께 1 ~ 7 um
- 기판소재 : PET, PC, PI, PEN 등
- 코팅공정 : RF, UHF를 이용한 초고밀도 플라즈마 PEMOCVD 고속증착 (0.2 um/min)
- 코팅온도 : 50 ~ 100℃
- 핵심기술 : 라디칼 제어 및 입자 운동속도 제어에 의한 저온 고밀도 박막 증착

2) Flexible TFT 디바이스용 박막
- 박막소재 : 결정 Si, SiNx 등
- 박막특성 : 나노결정 반도성 박막
- 기판소재 : PI(폴리이미드), PEN 등 고온 투명 폴리머
- 코팅공정 : 고밀도 플라즈마 마그네트론 스퍼터링, 초고밀도 플라즈마 PECVD
- 코팅온도 : 200 ~ 300 ℃
- 핵심기술 : 저온에서 플라즈마 밀도 및 라디칼 제어에 의한 박막조직제어

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Film Thickness
(µm)
Transmittance
(%)
Film Color
0.1 92.3 No color
0.2 92.4 No color
0.5 92.9 No color
1 92 No color
3 92.6 No color
5 92.2 No color
7 92 No color
실리콘 옥사이드 박막의 단면
(Fig. SEM cross-section of the SiOx film)
두께별 투명도 도표