바이오메디칼 박막
플라즈마 진단
초정밀 박막합성을 위해서는 플라즈마 공정 중 증착입자의 활성화도, 라디칼의 종류, 증착입자의 속도. 전자의 온도 및 분포, 이온의 종류 및 분포 등 플라즈마내 다양한 입자들의 종류, 물리적, 전자적 에너지 등에 대한 진단 분석에 의한 박막합성 거동에 대한 해석이 필수적으로 수행되어어야한다.
본 센터에서는 이러한 플라즈마에 대한 기초적인 이해와 동시에 공정조건에 따른 플라즈마 거동에 대한 진단분석을 체계적이고 종합적인 진단시스템을 구축하여 신기술을 개발하고 있다.

플라즈마 진단
Integrated plasma diagnostics


Langmuir probe (LP) -. 싱글, 더블 프로브를 이용한 플라즈마 변수 측정
- 전자온도(Te), 플라즈마밀도, 플라즈마 포텐셜(Vp), 플로팅 포텐셜 (Vfl) 측정
Optical emission spectroscopy (OES) 플라즈마 내의 종(species)들의 온도분포, 상대밀도, 절대밀도, 전자온도(Te), 전자밀도를 측정
Optical absorption spectroscopy (OAS) 플라즈마 내 종(species)들의 절대밀도를 측정
Laser-induced fluorescence (LIF) 플라즈마 내 종(species) 들의 밀도, 속도 분포, 온도 분포를 측정
Fabry-Perot interferometry(FPI) 플라즈마 내 종(species)들의 운동에너지 스펙트럼 라인 broadening , 속도 분포, 온도 분포를 측정
Infrared diagnostics (IR camera) 시편 표면 온도 필름 표면 온도, 타겟 온도를 측정
Residual gas analyzer (RGA) 플라즈마 내 중성입자의 정성, 정량 분석