박막설계 및 플라즈마 진단
박막 분석 및 평가
본 센터에서는 다음 표와 같은 다양한 박막의 특성을 분석 및 평가하는 장비를 구축하고 연구개발 및 산업체를 위한 분석 평가 서비스를 수행하고 있다. 분석을 의뢰를 위해서는 첨부 분석의뢰서를 센터로 신청해 주시기 바랍니다.(capst@skku.edu) 신청서 양식down load

분석장비 리스트
기기명 모델명 기기용도 제작사
박막 특성 분석 및 평가
주사전자현미경 (SEM/EDS) S-3500H 재료 표면
분석 재료 표면 정성/정량 분석
HITACHI (일본)
시편 전처리기 (Pt, carbon ion sputter) E-1010 SEM 시편 Pt, carbon 코팅 HITACHI (일본)
HITACHI (일본) AP-0100 Contact & noncontact mode의 표면 조도측정 Thermomicroscopes (미국)
나노인덴터 (Nano indenter) Nanoindenter XP 박막의 hardness, modulus 등의 물리적 특성 측정 MTS (미국)
적외선 분광 분석기(FT-IR) Bruker IFS-66v/S 유기물 정성분석(진공상태) Bruker (미국)
글로우 방전 분광기(GDS) GDS-850A 표면 조성분석 Depth profiling LECO (미국)
홀효과 측정기(Hall effect measurement) HMS-3000 비저항 측정, 캐리어농도 & 이동도 측정, 홀계수 측정 ECOPIA (한국)
박막두께 측정기 (α-step surface profiler) Alpha-Step IQ 박막 두께 측정, 표면 미세조도측정 KLA-Tencor (미국)
부착력 및 박리 시험기 (Peel tester) DAGE Series 4000 박막 접착력 측정 DAGE (독일)
밀착력 측정기(Scratch tester) JLST022 박막 접합력 측정 J&L tech (한국)
면저항 측정기 (4 point probe) CMT-SR1000N 면저항 및 비저항 측정 Changmin Tech (한국)
박막 잔류응력 측정기 (Residual stress tester) Stress tester 박막 잔류응력 측정 J&L tech (한국)
영상분석 프로그램(Image analyzer, LEICA DMLM) i-solution DT ver 7.8 광학현미경 이미지 및 각종 이미지 파일에 대한 비율, 면적, 분포 등의 정보분석 i-solution (한국)
접촉각 측정기(Wetting angle measurement) SEO300A 표면 접촉각 측정, 표면에너지 측정 SEO (한국)
바이오메디칼 재료 특성 분석 및 평가
분광광도계(Spectrophotometer) CM 3500D 색차측정(시료 흡광도 측정) MINOLTA (일본)
시차 주사열량계 (differential Scanning Calorimeter, DSC) TMA 2940 고온 열물성 측정(온도, 시간의 함수로 시편 치수변화 측정) TA. Ins. (미국)
원심분리기(Centrifuge) MF-50 세포계 시험(세포와 배양액 분리) 한일산업 (한국)